晶圆显微镜XJ-59C-1,采用了无限远校正光学系统、长工作距 明暗场物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,长寿命LED光源。主要用于半导体芯片、晶圆、LCD 行业、粒子爆破检查等材料表面各种检验需要。明暗场光学系统使得该显微镜即检查晶圆电子线路图案及表面细微划痕也可以检查图案颜色。
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