看半导体晶圆用明暗场正置金相显微镜。利用明暗场正置金相显微镜可以有效的把晶圆的冗余物、晶体缺陷、机械损伤等损伤检测出来。
1、暗场显微镜在材料检测中常用于晶圆电路图案、缺陷观察,在暗场显微镜下能看到微小物体,也叫亚粒子。
2、偏光可用于显示材料的纹理和晶体样貌。其非常适合检测晶片和LCD结构。
3、明场是观察晶圆电路颜色的
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