偏光显微镜放大倍数在50-600X之间，主要用于显微观察，可用于碳化硅单晶缺陷显微分析。在透射偏光显微镜下，碳化硅单晶微管通常呈现为蝴蝶形 ,这是由于微管周围存在着应力场 ,且应力分布不均匀 ,当线偏振光在通过微管周围区域时传播速度不同造成的。体视显微镜放大倍数一般在6-80X之间。主要用于宏观显微观察。通过体视显微镜可观察升华法生长的 SiC 单晶 , 在样品腐蚀前后所观察到的微管数目。
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