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样品名称
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STO衬底，GdScO3衬底
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测试模式
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AFM轻敲模式
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测试要求
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形貌观察及台阶观察
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样品1(GdScO3-etched)：2000nm X 2000nm
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样品2（GdScO3-unetched）2000nm X 2000nm
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样品3(STO)：2000nm X 2000nm
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样品4(STO-30S)：2000nm X 2000nm
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样品5(STO-30S)：500nm X 500nm
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样品6(STO-45S)：2000nm X 2000nm
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