看晶圆用正置金相显微镜，并且要有带明暗场观察光学系统。明场主要用于观察晶圆颜色，暗场用于观察晶圆电子线路图案。我公司生产的看晶圆显微镜采用能快速移动的带晶圆载物台大工作台，物镜采用明暗场半复消色差物镜，可用于检查晶圆电子线路图案、颜色及表面细微划痕。
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