扫描探针显微镜（SPM）是显微镜的一个分支，使用扫描样本的物理探针形成表面图像。SPM成立于1981年，发明了扫描隧道显微镜，这是一种在原子水平成像表面的仪器。第一次成功的扫描隧道显微镜实验由Binnig和Rohrer完成。他们成功的关键是使用反馈回路来调节样品和探针之间的间隙距离。(蒲柘光电显微镜版块发布)
许多扫描探针显微镜可以同时成像几种相互作用。使用这些交互来获得图像的方式通常称为模式。
从技术到技术，分辨率有所不同，但一些探测技术达到了相当令人印象深刻的原子分辨率。这主要是因为压电执行器可以在原子水平上精确和准确地执行运动，或者更好地执行电子指令。这一系列技术可称为“压电技术”。另一个共同点是，数据通常作为数据点的二维网格获得，以伪彩色可视化为计算机图像。(蒲柘光电显微镜版块发布)
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